一体式磁控溅射镀膜机

发布时间：2024-11-01 点击次数：

• 所属单位：扬州大学
• 专利范围：生物医学工程学其他学科
• 学校署名：扬州大学
• 发明设计人：沈康
• 专利说明：一体式磁控溅射镀膜机
• 专利类型：实用新型
• 专利状态：专利权有效
• 申请号：202322208191.8
• 发明人数：2
• 是否职务专利：否
• 申请日期：2023-08-17
• 授权日期：2024-02-20
• 第一作者：曹小卫