所属单位:物理科学与技术学院
发表刊物:Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Journal of Vacuum Science and Technology
合写作者:张志萍,张伟,陈小兵,程晓农
第一作者:刘红飞
论文类型:应用基础研究
卷号:31(3)
页面范围:253-257
ISSN号:16727126
是否译文:否
发表时间:2011-01-01